氩离子刻蚀相关论文
由于镁合金具有密度低、比强度高、生物兼容性好以及电磁屏蔽性能优良等特点,因此在航空航天、汽车工业以及生物材料等领域发挥着......
随着5G通信时代的到来,对集成化、微型化以及高频化滤波器的需求与日剧增。基于离子注入剥离（Crystal Ion Slicing,CIS）制备的单晶铌......
为了优化单晶铌酸锂薄膜光波导的性能,研究了基于单晶铌酸锂薄膜材料的光波导刻蚀工艺.虽然Ar+物理刻蚀能够达到最高95 nm/min的刻......
本文用扫描隧道显微术研究了经过不同方法处理的高定向裂解石墨(HOPG)表面的性质以及铂在其上的成核和生长.通过控制氩刻及氧化时......
因结构简单、并行处理、突破冯洛伊曼瓶颈等优势,忆阻器在搭建类脑神经形态计算系统上有较大潜力。单晶材料缺陷少、性能一致性好,......
现代的高速切削技术对刀具提出了更高的要求,在刀具上进行硬质涂层沉积是提高刀具综合机械性能,延长刀具切削加工寿命的重要方法。......
本文研究了高温超导薄膜表面经氩离子不同程度刻蚀后其物理性能的变化，并采用离子刻蚀的方法设计制备了一个四节超导滤波器．YBa2Cu2O......
X射线光电子能谱(XPS)是一种分析物质表面(5 nm以内)化学元素及元素化学状态的表面分析技术.由于大部分样品在进行XPS分析前均处于......
