波面干涉仪相关论文
介绍了一种利用波面干涉仪和精度为0.2″的端齿盘组合测量六面体相邻两面垂直度误差的新方法,建立了基于最小二乘算法的评定垂直度......
讨论了一种新的干涉图处理方法,能实时快速准确地提取干涉图信息,直接测量波面的位相分布,获得较高的位相分辨率和空间分辨率,使光学波......
针对框体类零件超精密加工的难点问题——内表面间垂直度误差的高精度测量,提出了一种基于波面干涉技术测量的新方法,建立了垂直度测......
本文叙述了一种不受干涉仪系统误差及试样加工误差限制的测试光学材料均匀性的方法。借助于电子计算机,通过对四张干涉图的分析与......
光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求,近年来相关测量技术发展非常迅速,其中移相技术是较典型的代表,发展日趋成熟并得到......
本文叙述了用氦氖气体激光管做为光源的干涉仪光路原理、使用方法、注意事项及在天文光学镜面制造中的应用.该仪器现在专用来检验......