深孔刻蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

深孔刻蚀相关论文

不同厚度GaAs通孔技术研究

研究了不同厚度GaAs的通孔工艺,在以GaAs为衬底的加工工艺中,通孔工艺是GaAs的重要工艺,直接影响着器件的性能.阐述了目前GaAs厚度......

期刊

砷化镓厚度深孔刻蚀偏置功率

基于片内热管理应用的碳化硅深孔刻蚀研究

针对传统SiC衬底GaN器件高功率密度工作时的热积累问题,开展基于芯片内部嵌入高热导率材料的GaN器件芯片级热管理技术研究。在实现......

期刊

热管理碳化硅反应离子刻蚀深孔刻蚀表面损伤

看过本文同时还关注