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LIGA技术是微加工技术的一个重要手段,有着其它技术所不能够相比的优越性能.BSRE自1993年起开展了这项技术的研究工作,经历了近十......
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介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站，研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响；对深度同步辐射光刻扫描台的......
中国科学院光电技术研究所，是中国科学院在西南地区规模最大的研究所．2001年整体进入中国科学院知识创新工程。......
