紫外光刻机相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

紫外光刻机相关论文

极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究

从理论上系统性地研究了动态气体锁抑制率,提出了动态气体锁理论分析模型。通过理论分析推导出单组分和多组分清洁气体在等截面或......

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气体 X射线光学极紫外光刻机动态气体锁抑制率紫外光刻机清洁气体光刻机投影物镜理论研究体系

URE-2000系列紫外深度光刻机

中国科学院光电技术研究所，是中国科学院在西南地区规模最大的研究所．2001年整体进入中国科学院知识创新工程。......

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紫外光刻机科学院微光学微电子深度光刻中国科学院光电技术研究所 URE-2000 光刻设备

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