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该文深入研究了用二维FFT法测量量块参数的测试系统,基本完成了测试系统的量块干涉图的分析处理软件系统.重点研究了精确测量一等......
在研究二维FFT法进行干涉测试基本原理的基础上,提出一种基于二维FFT的薄膜厚度测量新方法。利用搭建的泰曼-格林型干涉系统,用CCD接......
比较了在有噪声和无噪声的情况下,傅里叶变换轮廓术中采用三种频域滤波窗对测量精度的影响.给出了在有噪声和无噪声情况下,FTP中采......
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首先证明了NAH变换中两种Green函数变换关系式对最终的场变换结果的一致性,给出了NAH变换中主要参数之间的定量关系式,进行了滤波......