物理溅射相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

物理溅射相关论文

反应离子束抛光关键技术研究

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学位

反应离子束抛光离子束抛光反应气体物理溅射化学反应射频中和器材料去除效率表面粗糙度

反应离子刻蚀技术

本文综述了反应离子刻蚀技术的概况,引用了文献71篇。对反应离子刻蚀的机理作了简单介绍,并对刻蚀的方向性、选择性、均匀性和重复......

期刊

反应离子刻蚀声表面波频率微调离子轰击活性体低温等离子体技术物理溅射光刻胶刻蚀终点

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