玻璃基系统相关硕士博士期刊学术论文

用多晶硅薄膜实现AMLCD及其外围电路的集成一体化,即玻璃基系统(SOG),是多晶硅薄膜晶体管和AMLCD的十分重要的发展趋势.该文从工艺......