本文主要内容共6章.第一章简单介绍了电子束曝光技术的背景知识,包括国内外电子束曝光技术的发展过程和趋势、电子束曝光机以及图......

随着纳米技术的发展与进步,使用微纳米机器人来实现靶向药物递送这一构想正逐渐变成现实。虽然微纳米机器人存在改善纳米药物递送......

谐振型声表面波传感器因具有体积小、测量精度高、易于无线无源化等特点，能够胜任封闭狭窄环境及高速转部件等复杂条件下的温度、压......

介绍了用电子束直写技术在GaAs圆片上制作≤0.5μm栅和T形栅的工艺技术,并在GaAs器件的研制中得到应用。 The technology of maki......

作为一种非化学放大的无机负性电子束光刻抗蚀剂，HSQ（hydrogen silsesquioxane）具有极高的分辨率（约5nm），由于灵敏度较低，限制了其在微纳......

基于深紫外浸没式曝光技术的大规模集成电路制造已接近10 nm特征尺寸。由于工艺复杂、设备昂贵且需要昂贵的光学掩膜版,浸没式曝光......

本文主要介绍了高能电子束纳米曝光系统重点环节的研制方案,在部分研制工作完成的基础上,进行了初步曝光实验,并就其结果进行了理......

电子束曝光是一种重要的高分辨率微纳加工技术。电子束抗蚀剂的灵活性使得电子束曝光技术成为一种具有可设计性与可控制性的制备材......

随着纳米科技的发展,我们已经生活在纳米热的社会中。纳米科技涉及领域众多,包括纳米材料、纳米电子学、纳米光学(纳米光子学)、纳......

纳米科学技术是８０年代后期发展起来面向２１世纪的高新技术，纳米加工技术是制造量子微结构的主导技术。电子束纳米加工推动着微细加工技术......

石墨烯是一种由碳原子经过sp~2杂化形成的六角蜂窝状原胞组成的二维晶体材料。自2004年被发现以来,便因其优异的电学,力学,光学等......