白光干涉仪相关论文
为满足晶圆表面质量的测量需求，研究了一种基于原子力显微镜的晶圆表面粗糙度测量方法。首先，介绍了表面粗糙度的定义和评定系数。其......
超精密加工技术在不断朝着加工方法多样化、加工材料广泛化、加工结构复杂化、加工精度精细化发展的同时,对表面轮廓形貌的准确表......
基于光学相关域偏振测量技术的白光干涉仪具有高分辨率,长测量距离,大动态范围等优势,被广泛用来测量光学偏振器件内部的分布式偏......
为了测试保偏光纤环的偏振耦合分布及绕环光纤拍长,采用白光干涉仪对光纤环进行测试.一方面,通过测试获得了光纤环的偏振耦合分布,......
目的:介绍了一种带有标准具测量量块的白光干涉仪.它可以将量块长度通过标准具间隔长度直接溯源至波长基准,能够利用一个标准具的......
在精密磨削加工过程中,砂轮的三维表面微观形貌对工件质量有重要的影响,因此砂轮形貌的测量和分析对优化产品质量、指导砂轮成型有......
柔性铰链具有体积小、无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高、导向精度高等诸多特点，被广泛地应用于精密机械、精密测量、精密天平、微......
基于白光干涉的非本征法布里珀罗干涉(EFPI)传感器,具有低频噪声低、可同时进行多参量传感、可实现绝对腔长测量等优点,引起了广泛......
近些年来，高精度加工的需求在不断加大，为了提高产品的成品率及其表面质量，亟需一种高精度的在线测量系统。而白光干涉仪具有高精度、......
白光干涉轮廓仪具有非接触、高精度特点,尤其适合结构性表面测量。针对诸如MEMS、微光学元件等结构性表面水平和垂直大范围测量需......
砂轮是磨削加工中广泛使用的一种磨具，磨削加工直接影响被加工工件的表面质量，因此为了实现对工件表面质量的有效预测和控制，对砂轮表......
作者根据实践经验提出采用F-P标准具及白光干涉仪实现检定1等量块及0级量块将大大提高检定工作效率和检定的不确定度.采用F-P标准......
采用白光扫描干涉法,利用Michelson干涉仪中移动臂的移动补偿保偏光纤中产生的光程差,从而实现对保偏光纤绕组中偏振耦合点的耦合......
使用多个宽带光源构成的组合光源的白光干涉仪，其干涉信号为单个光源干涉信号的叠加，从而使干涉信号强度重新分布。通过理论分析和计......
本文分析了白光干涉仪中多波长值的选择对条纹可见度尤其是对零级条纹附近可见度的影响,给出了使用相干长度都较短的两个和三个波......
首先简要介绍了保偏光纤及其主要参数:模式耦合系数、拍长、偏振消光比和偏振串音等,并给出这些参数的定义和表达式;评价保偏光纤......
传统方法在进行齿轮角度偏差校对时,未构建齿轮三维重建模型,存在高精密齿轮角度校对准确率较低、校对时间过长问题。提出高精密齿......
使用一个带步进延迟线的沃拉斯顿棱镜的电扫描仪和一个CCD阵列作为一个译码单元，设计了一个译码干涉系统与带非零组差的温度补偿压......
为了实现对工件表面质量进行预测和控制，对砂轮表面的三维形貌测量、表征和评价就显得尤为重要．设计了一款砂轮检测用白光垂直扫描干......
本文采用迈克尔逊（Michelson)光纤白光应变测量干涉系统，利用新型光纤传感探头，对混凝土内部的一维和二维应变状态进行了测量，给出了混......
用白光干涉仪对珩磨缸套表面进行测量，采用概率支撑率曲线来表征缸套这种具有复合加工特征的表面，指出利用纹理成分来检验及识别加工......
报道了一种新的光谱测量方法基于单模光纤Mach-Zehnder干涉仪（FMZI）结构的傅里叶变换光谱分析法。在传统傅里叶变换光谱仪（FTS）中，用光......
实验室不仅需要配置高水平的超精密加工装备,还需要相应的精密测量仪器。如何正确而有效地利用加工装备和测量仪器,是超精密加工技......
目的 验证原子力显微镜和白光干涉仪分别在表面材料测试中的分辨率及其在不同类型表面材料测试中的适用性。方法 分别采用原子力显......
本文对近年来光学电压互感器的类型、基本原理进行了综合评述;对双模干涉式光学电压互感器进行了深入的理论研究,建立了完整的系统......
作为白光干涉技术典型应用,光学相干域偏振测量仪已经成为分布式偏振串扰评估的重要工具。光学相干域偏振测量方案以其具有大的动......
为了实现对金刚石砂轮表面形貌的非接触精密测量,开发了基于干涉原理的金刚石砂轮表面形貌专用测量系统,研究了该系统的测量原理和......
为了提高传感器的多路复用能力,基于低相干光纤传感技术,采用非平衡的Mach-Zenhnder干涉仪的结构,设计了2种新型光纤白光干涉多路......
研究并设计实现了微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪系统。前者采用Mirau相移干涉形式,用压电陶瓷......
根据传统光学干涉原理研制出的相位调制型光纤传感器 ,其突出优点是灵敏度高 .但却只能进行相对测量 ,即只能用作变化量的测量 ,而......
砂轮是一种被广泛应用于磨削加工的工具，其表面形貌参数不仅影响其切削加工性能还决定了工件表面的加工质量。如果可以得到砂轮的三......
随着科学研究和先进制造技术的发展，产品表面形貌与结构越来越多样化，对高端表面形貌与结构测量仪器的需求就越来越大针对我国重大专......
物体表面的质量将直接影响到其使用功能特性，也是评定加工工艺好坏的重要依据，同时机械加工技术、光学技术和微电子技术的发展对于表......
表面形貌仿真是实现高效高精度的超精密加工技术必不可少的研究方法。为了减少在理论模型的计算和表面形貌的仿真分析时间,并且实......
HgCdTe薄膜表面损伤层厚度测试对其加工工艺及其重要。本文采用白光干涉仪对HgCdTe薄膜表面粗糙度测试,并与损伤层厚度对比,研究发......
与激光干涉测量技术相比,光纤白光干涉(WLI)测量术一个最大的优势是能够绝对测量静态的物理参数。综述了近年来国内外在光谱域光纤......
为探究磁流变弹性体在磁场作用下的表面特性,制备体积分数为5%,10%,15%,20%,25%和30%的磁流变弹性体(MRE)样本,分别在施加磁场前后......
激光中心温度探测是激光领域的一个重要课题,直接影响着激光在工程技术中的应用。利用XL-800WF光纤传输多功能脉冲激光加工系统,照......
应变、形变和温度一直是智能材料或智能结构中最感兴趣的重要参量,光纤白光干涉技术为这些参数的监测提供了有效的测量方法.基于Mi......
