垂直扫描相关论文
依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具......
太阳能电池板表面纹理是影响光电转换效率的关键因素之一,通过对太阳能电池板表面微观形貌的测量,对比不同的表面纹理参数与太阳能......
白光干涉轮廓仪具有非接触、高精度特点,尤其适合结构性表面测量。针对诸如MEMS、微光学元件等结构性表面水平和垂直大范围测量需......
制件表面微观形貌直接影响其使用性能、寿命和可靠性,是制件的重要质量特征。随着制造技术的发展,制件表面加工精度不断提高,面向......
采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法。经过实......
针对航空科学技术产业中超精密加工对微纳米尺度的测试要求,本文提出一种白光干涉三维形貌快速测量算法。该算法通过将移相扫描精......
介绍了一种利用垂直位移台来实现钢球表面粗糙度高精度测量的垂直扫描白光干涉仪。该仪器是在6JA型干涉显微镜基础上加以改造。采......
介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成.当测量工件时,闭环控......
为得到被测表面的微观信息,根据垂直扫描白光干涉的特点,以阶高92μm的微流道为测量对象,测出理论上处在不同高度的3个点的干涉数......
利用白光干涉垂直扫描原理,设计了测量微机电系统(MEMS)表面形貌特征的垂直扫描白光干涉系统.该系统由垂直扫描位移工作台驱动被测......
由于对精度控制大多只关注船体分段的主尺度精度，而忽视了船体分段的外表面精度。基于此，研究提出了一种采用全站仪对边测量法，以基准......
为满足超精密表面形貌测量对工作台的大量程、超精密和三维扫描的要求,设计了一种新型三维精密工作台。工作台由自带计量系统的二......
垂直扫描白光干涉光学轮廓仪是表面形貌和结构精密测量的重要仪器。本文以实验室自主研发的垂直扫描白光干涉表面形貌测量系统为基......
介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,它由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。垂直扫描工作台放......
B.CCD成象仪在真空杜瓦组件中在77K温度下对单片HgCdTe CCD进行了测试。设计的CCD在TDI行速率6kHz至12kHz、相应的多路传输器象元......
<正> 从四月十九日至廿二日在英国举办的第五十五届物理学展览会确有若干新的特色。似乎只有少数几个展品台上没有光学的或激光的......
金刚石刀具切削加工光学表面时,工件表面粗糙度与刀具表面粗糙度密切相关.利用垂直扫描白光干涉法,获得了金刚石刀具前、后刀面粗......
