【摘 要】
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为满足晶圆表面质量的测量需求，研究了一种基于原子力显微镜的晶圆表面粗糙度测量方法。首先，介绍了表面粗糙度的定义和评定系数。其次，研究了原子力显微镜的原理和粗糙度测量方法。最后，使用原子力显微镜和白光干涉仪对同一晶圆进行对比测量。结果表明：若以白光干涉仪测量结果为参考值，原子力显微镜的测量误差在-0.32%左右，测量重复性控制在皮米量级。另外，原子力显微镜测量方法具有测量准确度高，测量范围小，速度慢
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为满足晶圆表面质量的测量需求，研究了一种基于原子力显微镜的晶圆表面粗糙度测量方法。首先，介绍了表面粗糙度的定义和评定系数。其次，研究了原子力显微镜的原理和粗糙度测量方法。最后，使用原子力显微镜和白光干涉仪对同一晶圆进行对比测量。结果表明：若以白光干涉仪测量结果为参考值，原子力显微镜的测量误差在-0.32%左右，测量重复性控制在皮米量级。另外，原子力显微镜测量方法具有测量准确度高，测量范围小，速度慢，对材料无要求等特点，为工艺人员如何选择测量方案提供了技术支撑。
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