相位细分相关论文
近年来,引力波探测、表面科学工程、极紫外光刻等前沿领域的迅猛发展,对双频激光干涉仪测量分辨力的需求已从纳米、亚纳米量级提升......
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法,该方法结合双轴机械传输导......
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基于谐波分离修正算法，采用高速可编程器件，构建了一套激光干涉仪误差修正系统。该系统通过校准过程建立误差修正方程，并生成修正相位......
MEMS陀螺大多数使用电容检测法，其精度不高。提出利用双光干涉方法探测MEMS陀螺中质量块的振动振幅．用相位细分的方法对干涉信号进行......
为了提高光刻机运动台的位移测量的精度,需要对测量系统得到的干涉信号进行细分处理。因此提出了一种在时域中对信号相位细分的方......
随着我国科技的持续发展,芯片制造设备对精度要求不断提高,其中位移测量系统的高精度测量对设备精度的影响具有关键作用。在高精度......
