纳米定位相关论文
针对一类存在非线性迟滞特性的纳米定位压电驱动器的控制问题,使用了一种与被控系统无关的自耦比例-积分-微分(ACPID)控制方法.该......
提出了时间反演方法来控制等离子纳米系统中能量最强点的位置。该方法是基于纳米系统中对某一点局域超短脉冲激发的远场的时间反演......
四光束激光干涉研究是激光干涉应用研究的新兴领域,该研究受到世界各国的广泛关注。而基于这一研究领域的微纳米定位方法研究也逐......
随着纳米科技的发展,越来越多的应用对柔性纳米定位系统的速度和精度提出了更高的要求。然而,众多研究认为由于柔性纳米定位系统的......
纳米定位技术影响着纳米技术(nanotechnology)、纳米科学(nanoscience)、纳米制备(nanofabrication)、纳米制造(nanomanufacturing......
随着科学技术的发展,航天技术、微电子工程、计量科学与技术、光学与光电子工程、精密工程、生物工程、纳米科学与技术等领域迫切......
本学位论文选题来源于国家自然科学基金项目-基于并行像散共焦探测原理的微结构三维形貌测量基础研究(批准号:50775063)。应用于微......
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法,该方法结合双轴机械传输导......
基于表面等离子体共振 (SPR)的纳米定位装置可以实现纳米级的定位分辨率和重复性。通过设计特殊四面体棱镜 ,使四面体棱镜第一个反......
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法,该方法结合双轴机械传输导......
针对工业领域和计量界对定位精度要求的提高,提出了一种基于迈克尔逊干涉仪反向特性的定位控制方法。该方法采用相位锁定控制和外......
针对微纳测量领域的需要,设计了一种三维微触觉MEMS传感器.为了标定该传感器的性能参数,提出了以高精度纳米测量机(NMM)为核心的测......
为了满足ASTROD激光宇航动力学任务慨念计划的高精度要求,以及实现新质量标准,我们开始进行次纳米激光测长与纳米定位控制的研究.......
A miniature linear piezoelectric actuator which moves based on inertia friction theory is described in this paper. The a......
为了突破拥有多个传感器的独立叠堆混合执行器的局限性,一种新式的混合直线执行器结合了具有极高分辨率的压电系统和具有大行程范......
随着科学技术的发展，超精密定位技术在各领域得到了广泛应用，它的研究对MEMS技术的发展具有重要的意义。对具有纳米定位精度的二维微......
利用双螺旋点扩散函数三维定位的能力建立了三维多粒子追踪成像系统,成像深度可达到4μm,定位精度达到20 nm,并在该系统上实现了对......
介绍电容式传感器在大型天体望远镜光学镜面面形控制中的方法和原理。该大型天体望远镜10m直径的主镜由36块对角线长1.8m的六角形......
为提高扫描隧道显微镜微驱动器的响应速度和定位精度，提出了一种基于自适应理论的控制方法。微驱动器采用压电陶瓷驱动，在分析其结构......
由于压电陶瓷驱动器（PZTA）具有体积小、位移输出精度高等优点，因而它在超精密定位和微机电系统（MEMS）中得到了广泛的应用，但其本身固有的......
介绍了一种结构简单,易装配的竖式高精度压电尺蠖式位移致动器,阐述了致动器的工作原理和结构形式。致动器采用叠堆式压电陶瓷作为......
为提高压电陶瓷驱动的微定位工作台的模型精度，提出了一种基于动态递归神经网络的建模方法。压电陶瓷具有极高的位移分辨率，但存在着......
为了提高粘滑式纳米定位台对不同负载,尤其是大质量负载的适用性,设计了驱动模块化的粘滑定位平台。将质量块、柔性铰链及铰链架一......
压电陶瓷通常用于原子力显微镜(AFM)中的扫描器中,但是在无补偿开环控制中压电陶瓷在输入电压与输出位移之间表现出明显的迟滞和蠕......
介绍了一种结构简单、易装配的高精度压电尺蠖式位移致动器,阐述了致动器的工作原理和结构。致动器采用叠堆式压电陶瓷作为驱动,利......
研究一种具有纳米级定位精度的弹性位移缩放机构。该机构采用桥式柔性铰链位移缩放机构,这种弹性位移缩小机构可以将传统螺母丝杠......
为减少圆筒型永磁同步直线电机（TPMSLM）在直接驱动方式下的电磁扰动对纳米定位的影响，研究了TPMSLM定子与动子偏心安装的驱动模式，用于......
提出了一种用于通用压电陶瓷线性马迭（PLCM）驱动平台的纳米级定位数控方案，该平台上配有栅距20μm的线性光栅．传统的信号细分多数基于......
对于“伺服电机＋滚珠丝杠”驱动机构，摩擦、饱和和高频振动等非线性因素是实现大行程无超调高精度点位（PTP）控制的主要障碍．针对这种驱......
微操作手是微操作机器人的重要组成部分,首先介绍了国内外研制的几种典型微操作手.在此基础上,对于微操作手的关键技术,从机构、驱......
利用在线参数估计和自校正控制算法设计一个自校正控制器,以解决纳米工作台因各参数变化而其精确的数学模型难以确定,因而影响定位......
进行了一个用于微细电火花加工的三维精密运动平台设计。对平台的传动方式、布局结构、通信模块等关键环节进行了详细分析，并进行了......
研究了基于可编程多轴控制器运动控制卡的宏微两级精密定位控制系统，介绍了如何通过该控制卡的电路设计以达到对工作台的纳米级定位......
研制了一套基于激光莫尔信号的超精密定位工作台,定位台以微型计算机为核心,采用激光莫尔传感器检测位置偏差,通过光、机、电的有......
为解决基于扫描电镜纳米操作系统定位驱动方面的关键技术,分别研制能够实现水平定位和垂直定位的单自由度纳米定位台。定位台采用......
为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求，设计了一种滚珠丝杆的机械式微位移驱动器，能够实现十几毫米的大行程。为了达到高......
提出一种新型、集成式压电驱动两自由度nm级微定位工作台系统,工作台采用直角柔性平行板铰链,实现X,Y方向的运动,采用杠杆放大柔性......
介绍了一种基于尺蠖原理的回转式步进压电微动转台.借助柔性机械结构,将压电陶瓷的微位移以角度方式输送出来.在结构设计方面,采用......
纳米定位平台在微电子制造、精密测量以及微纳米机械加工等领域中广泛应用。精密测量及加工对定位平台的性能要求不断提高,要求在......
在超精密加工制造等领域,为了满足大质量工件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷应用情况下的纳米级精密定位平台。......
在超精密光学工程等领域,为了满足大质量部件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷的纳米定位平台。该纳米微动承载台......
介绍了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电电动机.在结构设计方面,变传统单驱动器结构为双驱动器结构,采用新颖的推-拉接......
为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求,设计了一种机械式微位移驱动器,它能够实现十几mm的大行程和纳米量级的定位精度......
应用光学理论研究了透射式激光莫尔信号的位移特性，建立了衍射莫尔信号强度与对应位移的数学模型，并通过计算机仿真对莫尔信号的位移......
纳米定位系统中广泛采用的压电驱动器因存在非线性、多映射的迟滞特性而严重影响了纳米定位系统的定位精度.为消除迟滞对定位精度......
压电陶瓷执行器在较高电场的作用下将产生严重的非线性、迟滞和蠕变 ,从而大大降低了它的定位精度。从控制方式、驱动方式和控制算......
随着纳米科技的飞速发展,纳米定位平台的应用越来越广泛。压电驱动器因具有响应速度快、定位精度高、输出力大等优点被广泛用于驱......
研究了一种具有纳米级定位精度的弹性位移缩小机构．该机构采用柔性铰链杠杆结构，这种弹性位移缩小机构可以将传统螺母丝杠系统精度提......
