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瞬态增强扩散效应相关论文

100nm P型超浅结制作工艺研究

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超浅结离子注入快速热退火沟道效应瞬态增强扩散效应

100nm超浅结制作工艺研究

在对深亚微米技术的探索中,通过实践,得到了100 nm以下N型高掺杂浓度超浅结的工艺流程。介绍了采用低能量离子注入技术结合快速热......

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