研磨废液相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

研磨废液相关论文

半导体代工厂研磨废水的堵管研究

半导体代工厂化学机械研磨(CMP)研磨液的主要成分为二氧化硅(SiO2)颗粒,排放废水中也含有SiO2。此物质会造成悬浮物(SS)偏高,在14~......

期刊

半导体化学机械研磨研磨废液酸洗碱洗制程排放系统 semiconductorCMPpolished wasteacid flushalkali flus

研磨废液的处理研究

研磨液广泛用于金属摩擦材料的生产,但使用后的研磨液则为污水或称研磨废液,研磨废液COD(化学需氧量)较高,必须处理达标后才能排放......

期刊

研磨废液 COD 物化生化循环利用

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