硅基膜片型相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

硅基膜片型相关论文

Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能

微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注.利用微机电系统(MEMS)加工技......

期刊

气敏传感器硅基膜片型微结构单元微机电系统热学性能 Sibased module of membranetype MGS MEMS thermal pro

看过本文同时还关注