硅微传感器相关论文
本文对基于MEMS的低频小型同振式矢量水听器的设计方法、制作工艺进行介绍。这种同振式矢量水听器采用低密度复合材料作为外壳、ME......
近年来,光激励微型谐振器得到了比较广泛的关注,这种谐振器的激励光和检测光通过光纤传送,适用于电磁干扰强、易燃易爆等场合。传......
为了实现谐振式硅微传感器测试仪器的直接校验,以及进行谐振式传感器反馈控制电路的优化研究,设计了能够模拟压阻拾振式谐振敏感元......
对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析。给出了其敏感压力......
介绍了由硅微传感器组成的自动气象站网络,并对整个网络的数据采集和数据处理的系统软件的实现做了详细的说明,而且从系统的硬件组......
内窥镜主动避障系统是利用微型接触传感器、电动机械卡爪和伺服控制系统等构成的一个实验系统,尝试用机器人技术改造传统内窥镜,使......
为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题,提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温......
主要论述全光纤硅谐振微传感器中微弱信号的相关检测技术．研究表明：对于高阻抗信号源，有效信号电流仅为纳安级、信噪比很低、谐振频率......
