硅模具相关论文
近几年，利用非晶合金制备微米甚至纳米级的高性能、复杂结构的微小零件已越来越受到航空航天、精密仪器、生物医疗、MEMS等尖端领域......
在这篇论文中设计制造了一种正方形的微谐振腔型的固态染料激光器，采用的激光染料是罗丹明6G，所选用的基质材料有三种，分别是聚甲基......
设计了一种新工艺———利用硅微结构直接作为模具来制作微小固体染料激光器谐振腔型滤波器。首先通过组合刻蚀工艺制作硅模具 ,......
研究了一种利用硅微结构直接作为模具制作微小固体染料激光器谐振腔.它采用了硅的深层反应离子刻蚀技术(deep-RIE)并结合硅的各向......
CVD金刚石具有优异的导热性能，在微电子热沉应用方面有着广阔的应用前景。利用ICP工艺制造了硅模具，利用有限元对CVD系统中硅模具的......
为了获得可靠的金属纳米尖的制作方法,设计了基于模板微电铸工艺制备金字塔型纳米Ni尖的工艺流程并进行了实验验证。利用(100)型单......
基于硅模具提出了一种吸铸成形Zr基非晶合金微零件的方法。采用真空氩弧熔化吸铸炉进行了非晶合金微零件吸铸成形实验，用红外热像仪......
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非晶合金在常温下、微尺度时保持有极高的力学强度等性能,且在其过冷液态区具有优异的超塑性成形能力,因而被广泛认为是制备高强度......
提出了将各向异性湿法腐蚀与各向同性湿法腐蚀相结合的复合工艺,通过控制刻蚀工艺参数进行体硅加工,成功刻蚀了硅基材料三维曲面回......
当前,聚合物微流控芯片在各种不同的应用领域成功取得了越来越多的认同,例如分析化学、生物学、制药、化学合成系统等。除了功能的......
本论文研究了以Zr基非晶合金为成形材料，采用微型硅模具进行超塑性成形的工艺。首先研究了非晶合金的晶化特性和过冷液相区的超塑性......
在不同工艺条件下进行聚合物和粉末微注射成形试验,制得微米级的聚丙烯和二氧化锆陶瓷微结构,微型腔采用感应耦合等离子深槽刻蚀技......
