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采用热丝化学气相沉积(HWCVD)方法沉积本征非晶硅薄膜,研究了热丝电流对薄膜结构及其钝化单晶硅片效果的影响。采用光谱型椭偏仪分......
本论文对过渡金属活化硅硅键的反应及相关问题进行了研究,发现一种新的金属铁活化分子内硅硅键的反应。
首先,合成了含硅硅键的......
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