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硅锥相关论文

场发射硅锥阵列的干法制备与研究

阐述了用于场发射压力传感器发射阴极的硅锥阵列的干法制备工艺,用反应离子刻蚀(RIE)的方法在76 mm(3 in.)的低阻硅片上制备出52个......

期刊

硅锥干法刻蚀 RIE 场发射 Si tip array dry etching RIE field emission

硅锥、碳纳米管及石墨烯的场发射性能研究

场致电子发射是冷阴极电子发射,可广泛应用于平板显示器、X射线管电子源、电子显微镜等多个领域。本论文分三个部分分别研究硅纳米......

学位

硅锥碳纳米管石墨烯场发射低温

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