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硅隔离衬底相关论文

基于硅隔离衬底的高深宽比微型杠杆机构研究

针对微机电系统微执行器输出位移小,不能满足实际工作需要的问题,设计了一种微型柔性杠杆位移放大机构,并用有限元方法对放大倍数......

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微机电系统微型杠杆机构高深宽比硅隔离衬底 microelectromechanical device m icroleverage high aspe

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