碳氟等离子体相关论文
本文采用了碳氟感应耦合等离子体对SiO介质进行刻蚀并通过改变源气体流量比R(R=[CF]/{[CF]+[Ar]})、射频源功率、自偏压等条件对其......
显示和发光技术的发展使得应用于光源的白光发射材料得到高度关注。近年来，人们发现非晶SiOxCy、非晶SiC∶H以及非晶Si∶C∶O∶H材......
目前,碳氟等离子体被广泛用在器件的微细加工过程中,如沉积低介电常数的氟化非晶碳薄膜,刻蚀SiO2、Si 以及其它相关材料。由于器件......
