感应耦合放电相关论文
射频离子推进器是当前等离子体推进器研究的热点。射频离子推进器不仅具有其他类型离子推进器的普遍优点,同时还具有无需使用阴极......
氟碳(FC)薄膜由于具有较低的介电常数(可达2.0±0.1)、良好的热稳定性、粘附性,较低的表面能、折射率低等特性,已经引起了工业界的......
低气压无极放电灯是低气压电感耦合等离子体(ICP)在最近十几年发展起来的新的应用领域.分析ICP放电中E-H放电模式的转变过程,解释......
目前,碳氟等离子体被广泛用在器件的微细加工过程中,如沉积低介电常数的氟化非晶碳薄膜,刻蚀SiO2、Si 以及其它相关材料。由于器件......
