碳氮薄膜相关论文
报道了一种碳氮薄膜材料的拉曼光谱,该光谱明显具有两个特征拉曼峰,和已有的碳基薄膜及碳氢薄膜相区别,其峰值位置分别位于1400cm~......
本论文采用对向靶直流磁控溅射法制备了系列碳氮薄膜和掺Ni碳氮薄膜,并对它们进行了退火处理。利用原子力显微镜、X射线光电子谱、......
非晶碳氮薄膜由于具有良好的物理性质而备受关注,在防护涂层、电子学器件以及生物医学等领域有着广阔的应用前景。辐照是常用的材......
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在不同衬底温度(常温、50、100、150、200C)下制备了碳氮(CNx)薄膜,并对其形貌、结构及光学......
利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜 .通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、......
采用高压点火的方式触发脉冲阴极弧放电，在Si（100）衬底上制备出较为光滑、均匀、致密的碳氮薄膜．研究发现在不同的放电电压与距离对薄......
使用自行设计的真空系统,采用弧光放电等离子体的方法,成功制备了表面光滑致密的碳氮薄膜.牛顿环干涉图样进一步验证了薄膜厚度的......
使用自行设计的真空系统，采用介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积（DBD-PECVD）法，分别以CH4／N2、C2H2／N2、C2H4／N2混合气体作为反应气体......
碳氮薄膜以其良好的力学、电学和光学性质,在磁盘磁头保护、硬质刀具、冷阴极发射、空间防护等领域具有广阔的应用前景。目前,纳米......
非晶态碳薄膜和碳氮薄膜因其各种优良性质,如高硬度、耐磨损、可调光学带隙、大范围变化的导电能力等引起了人们的研究兴趣。但是......
碳氮薄膜是一种新型材料,具有高硬度、宽带隙、抗高温氧化性能以及抗腐蚀性能等诸多优异性能,在微电子半导体、超大规模集成电路、......
