碳氮薄膜相关论文
采用真空离子束溅射反应沉积技术在不同N压强下制备了一组CN薄膜.研究这种薄膜的暗电导和在卤素光光源照射下的亮电导、响应时间等......
非晶碳氮薄膜由于具有良好的物理性质而备受关注，在防护涂层、电子学器件以及生物医学等领域有着广阔的应用前景。辐照是常用的材料......
报道了一种碳氮薄膜材料的拉曼光谱,该光谱明显具有两个特征拉曼峰,和已有的碳基薄膜及碳氢薄膜相区别,其峰值位置分别位于1400cm~......
<正>β-C_3N_4是人们根据理论计算而设计的一种目前在自然界尚未发现的新材料.β-C_3N_4具有类似于β-Si_3N_4化合物的晶体结构,其......
1989年Cohen和Liu教授应用固体量子理论和计算机技术预言了一种体弹性模量超过金刚石的β-CN结构的新材料。本文主要对探讨一种利......
以Ｎ〈，２〉、ＣＨ〈，４〉作为反应气体，采用微波等离子体化学气相沉积法（ＭＰＣＶＤ）进行碳氮膜的合成研究。通过控制反应温度、气体流量、微波功率、反应气......
该文利用真空磁过滤弧沉积技术在Ｓｉ（１１１）、石英及Ｔｉ／Ｃ衬底上制备得到碳氮（ＣＮ〈，Ｘ〉薄膜。采用卢瑟福背散射对薄膜进行成分及面密度分析。通过紫外－可......
用N溅射高纯石墨靶产生等离子束，将等离子束通过由90°的弯曲螺线管产生的过滤磁场，过滤掉中性原子和宏观碳粒子，只将碳离子和氮离子......
本论文采用对向靶直流磁控溅射法制备了系列碳氮薄膜和掺Ni碳氮薄膜,并对它们进行了退火处理。利用原子力显微镜、X射线光电子谱、......
非晶碳氮薄膜由于具有良好的物理性质而备受关注,在防护涂层、电子学器件以及生物医学等领域有着广阔的应用前景。辐照是常用的材......
该论文的工作包括三个方面:1)建立了一台θ-Pinch脉冲高温密度等离子体装置;2)对该装置的放电参数和等离子体的参数进行了测量和推......
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在不同衬底温度(常温、50、100、150、200C)下制备了碳氮(CNx)薄膜,并对其形貌、结构及光学......
利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜 .通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、......
采用在纯氮气氛中磁控制溅射高纯石墨靶的方法成功地制备了碳氮薄膜，研究表明，碳氮膜的硬度不仅与薄膜中的氮含量有关，更重要的是与碳......
采用微波等离子体化学气相沉积法，Ｎ２／ＣＨ４作反应气体，在Ｓｉ（１００）基体上沉积β－ＣＮ化合物。使用Ｘ射线光电子能谱研究了基体温度对碳氮薄膜的成分和结构的影......
采用磁过滤真空溅射离子沉积技术制备了一组非晶ＣＮ薄膜，利用红外光谱，紫外－可见吸收光谱和电导测量研究了其光学和电学性质，用Ｘ射线光电子......
用Ｃ２Ｈ２－Ｎ２射频等离子体化学气相沉积法在单晶硅、锗衬底上沉积了无定形碳化氮膜（ａ－Ｃ：Ｎ）。通过改变反应气中氮气分压，得到不同掺氮含量的ａ－Ｃ：Ｎ膜，该膜的显......
采用高压点火的方式触发脉冲阴极弧放电，在Si（100）衬底上制备出较为光滑、均匀、致密的碳氮薄膜．研究发现在不同的放电电压与距离对薄......
使用自行设计的真空系统,采用弧光放电等离子体的方法,成功制备了表面光滑致密的碳氮薄膜.牛顿环干涉图样进一步验证了薄膜厚度的......
利用荷能团族沉积装置在高阻硅（111）衬底上沉积了碳氮薄膜。通过红外光谱、拉曼谱和X光电子能谱对薄膜的结构和化学组分进行了分析。......
采用微波电子回旋共振化学气相沉积技术制备了氮含量不同的碳氮薄膜，采用真空退火技术对碳氮薄膜进行了退火处理，并且利用Laser Rama......
使用自行设计的真空系统，采用介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积（DBD-PECVD）法，分别以CH4／N2、C2H2／N2、C2H4／N2混合气体作为反应气体......
本文采用真空磁过滤弧沉积技术，在Ｓｉ，石英及Ｔｉ／Ｃ衬底上制备得到非晶碳氮薄膜。采用卢瑟福背散射分析对薄膜的面密度及Ｎ含量进行定量计算。用......
对不同沉积条件下沉积在硅基片上的纯碳薄膜、碳氮薄膜以及受不锈钢污染的碳氮薄膜的Ｘ射线衍射谱进行了比较分析，并结合晶态碳氮薄的......
自从Ｎｉｕ等首次获得接近β－Ｃ３Ｎ４的电子衍射谱以来，许多研究小组都报道说已制备出β－Ｃ３Ｎ４微晶。但在本实验中发现，当含有铁等杂质时，碳膜和碳氮膜的Ｘ射......
以Ｎ２，ＣＨ４作为反应气体，采用微波等离子体化学气相沉积法（ＭＰＣＶＤ）进行碳氮膜的合成研究。通过控制反应温度、气体流量、微波功率、反应气压，在Ｓｉ（１１１）和Ｓｉ（１００）基底......
报道了用射频等离子体溅射的方法在高阻单昌硅衬底上制备碳氮非晶薄膜，并利用拉曼光谱和红外吸收谱对其进行的结构分析研究。分析结......
美国空军实验室（AFRL）生产非晶碳氮（CNx）薄膜，可用作高温、大功率电容器的先进电介质。此研究工作由AFRL、创新科技方法公司和俄亥俄州......
碳氮薄膜以其良好的力学、电学和光学性质,在磁盘磁头保护、硬质刀具、冷阴极发射、空间防护等领域具有广阔的应用前景。目前,纳米......
非晶态碳薄膜和碳氮薄膜因其各种优良性质,如高硬度、耐磨损、可调光学带隙、大范围变化的导电能力等引起了人们的研究兴趣。但是......
碳氮薄膜是一种新型材料,具有高硬度、宽带隙、抗高温氧化性能以及抗腐蚀性能等诸多优异性能,在微电子半导体、超大规模集成电路、......
