磁微执行器相关论文
磁微执行器具有许多静电微执行器无法比拟的优点:磁微执行器可以提供比静电力更大的力或力矩;磁微执行器的工作电压可以与IC兼容;......
首先介绍了磁微执行器的驱动原理及其在发展中遇到的问题 ;然后具体分析了几种代表性的磁微执行器 ;最后介绍了它们的几个典型应用......
Pull-in参数是设计磁微执行器时需要考虑的一项重要参数。研究漏磁效应对Pull-in参数的影响时,通常采用有限元法求数值解,需要反复......
微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,实现了微电子与机械的融为一体.近年来,对ME......
磁驱动微执行器是一种重要的微执行器。与静电驱动相比,磁驱动具有一些无可替代的优点。静磁驱动是磁驱动方式中重要的一种,具有广......