磷离子注入相关论文
光子集成(PIC)及光电集成(OEIC)器件的制备中,量子阱混合技术(QWI),作为一种十分有效的单片集成工艺手段,以其工艺简单、又能有效地调......
叙述了磷离子注入方法诱导具有不同发射波长的InGaAsP双量子阱结构的混合,并通过光致发光谱和断面透射电子显微术对量子阱混合的程......
中子辐照经表面注磷处理的TiNi合金,使其具有放射活性,以用于制造血管支架,防治血管再狭窄.注磷工艺为等离子基离子注入,注入剂量......
报导了能量为2.8 MeV、剂量为2×1015离子/cm2的P+离子注入形成的KTP平面光波导.采用棱镜耦合法来测量光波导的暗模特性,发现......
在石英衬底上沉积纳米金刚石(NCD)薄膜,并进行1 ×10^14 cm^-2剂量的磷离子注入,再在800、900℃下低真空退火30分钟.对薄膜的微......
纳米金刚石(NCD)薄膜因其禁带宽度大、载流子迁移率高、抗辐射能力强等优异性能在半导体领域具有广阔的应用前景。到目前为止,能满足......
系统研究了磷离子注入并在不同温度退火后的纳米金刚石薄膜的微结构和电学性能.研究表明,当退火温度达到800℃以上时,薄膜呈良好的......