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端面耦合器相关论文
一种用于硅基光电子芯片端面封装的深硅刻蚀工艺
硅基光电子芯片的端面耦合器具有大带宽、低损耗、偏振不敏感等优点,使人们希望在端面封装方面获得突破.提出了一种用于硅基光电子......
期刊
硅基光电子芯片
端面耦合器
封装
磨抛
深硅刻蚀
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