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MBE等效法生长AlGaAs湿氮氧化特性
本文研究了超晶格等效法生长的AlGaAs薄层氧化特性,发现该类氧化层具有明显的各向异性,氧化孔呈椭圆形,氧化速率与氧化时间关系受......
会议
AlGaAs
湿氮氧化
超晶格等效
等效法生长
分子外延
MBE等效法生长Al,0.98Ga,0.02As湿氮氧化特性
本文研究了超晶格等效法生长的AlGaAs薄层氧化特性,发现该类氧化层具有明显的各向异性,氧化孔呈椭圆形,氧化速率与氧化时间关系受......
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