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MEMS器件的几何形状非常丰富与复杂，不同的几何形状为器件应用提供了有利的支持。本论文所重点研究的变截面双端固支梁，利用中间的大......
绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管(SOI-LIGBT)具有耐压高、驱动电流能力强、开关速度快和功率损耗低等优点,已逐渐在功率集成电路......
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEM......
为实现MEMS器件系统级的模拟,运用等效电路宏模型的方法建立相应的IP模型库单元.本文以悬臂梁结构的微传感器为例,描述了如何根据......
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型,该宏模型要能与电路模拟软件相连接,......
建立了一种基于力—电流(F—I)类比、适用于梁结构机电耦合系统小信号时域及频域分析的等效电路宏模型，与已有的基于力—电压(F—V)......
