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等离子耦合干法刻蚀相关论文

高精度石英全息透镜的MEMS工艺制作

通过微电子机械技术（MEMS）在抛光的熔融石英基材表面制作了平面精度达到0.4μm的超大单片面积的全息透镜。采用了分辨率达到0.2μm的......

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微电子工艺光刻全息透镜等离子耦合干法刻蚀微机电系统(MEMS) micro electronic process photo lithography h

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