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等离子过程相关论文
等离子过程引起的Si—SiO2结构损伤评估
本文利用C-V测试的方法,研究了MOS工艺中等离子过程对不同栅材料的Si-SiO2结构的影响,探讨了等离子损伤的形成机理,并就不同的退火条件进行评估。......
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等离子过程
SI-SIO2
结构损伤
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