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超薄栅氧化层n-MOSFET软击穿后的导电机制
研究了恒压应力下超薄栅氧化层n型金属-氧化物-半导体场效应晶体管(n-MOSFET)软击穿后的导电机制.发现在一定的栅电压Vg范围内,软......
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软击穿
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类Fowler-Nordheim隧穿
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