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金属Ni诱导横向晶化的结构及工艺进程的优化
研究了用Ni进行金属诱导横向晶化(MILC)制备大尺寸多晶硅晶粒的结构改进和工艺条件优化,改进了MILC的结构,通过在坦层氧化层上开出与衬......
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