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紫外透明导电氧化镓薄膜的制备及性能表征
随着半导体光电技术的日益发展,宽禁带透明导电氧化物薄膜已经成为半导体材料研究的热点之一。氧化镓作为一种直接带隙的宽禁带(Eg=......
学位
氧化镓薄膜
直流反应磁控溅射
掺锡的氧化镓薄膜
紫外透明
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