紫外透明导电薄膜相关论文
以自制MgxZn1-xO∶Al陶瓷为靶材,采用磁控溅射工艺在石英玻璃衬底上制备了MgxZn1-xO∶Al紫外透明导电薄膜,研究了Mg掺杂量和退火温......
摘要:以自制Mg0.2Zn0.8O:Al陶瓷为靶材,采用室温溅射后续退火磁控溅射工艺制备了Mg0.2Zn0.8O:Al紫外透明导电薄膜。研究了溅射压强和退......
透明导电氧化物薄膜具有较高的可见光透过率及良好的导电性,因而广泛应用于传感器、平板显示器、太阳能电池等领域。目前,应用较多......