红外热释电探测器相关论文
红外热释电探测器的关键是敏感元的研制,而敏感元主要是由具有一定图形的铁电薄膜和上下电极构成.采用半导体光刻工艺,利用化学腐......
在制造红外热释电探测器阵列过程中，需要利用超薄钽酸锂（LiTaO3）晶片作为红外热释电探测器件的敏感层。通常LiTaO3晶片的厚度远厚于红......
