纳米抛光液相关论文
纳米材料是廿一世纪极具发展前途的新材料，在许多领域有着广泛的应用前景。但由于其分散至今尚是关键技术，限制了纳米材料的大量应用......
随着半导体工业的飞速发展,化学机械抛光(CMP)渐成为集成电路制造中的一项关键工艺,其中抛光液是化学机械抛光过程中重要的消耗品,......
用聚氧乙烯型非离子表面活性剂可有效分散纳米金刚石于油介质中,由此制得了纳米金刚石抛光液,探讨了纳米金刚石的分散机理,认为庞......
