纳米硅量子点相关论文
微电子学在当今新技术革命中占有核心地位,大规模集成电路的普遍使用既是微电子学发展的重要成果,也是其重要标志。然而随着器件尺寸......
近年来,随着多种硅基光子学器件相继研制成功和其性能的不断提高,硅基单片光电集成引起了国内外研究者的广泛重视与关注,并逐步成......
随着集成电路工艺的飞速发展,器件的特征尺寸在不断地减小,到2020年器件的特征尺寸将会下降到10nm,传统的集成电路工艺正面临着尺......
用减压气相淀积法(LPCVD),在二氧化硅以及石英基板上自组织形成了高密度的(10^11cm^-2)纳米尺寸的半球状硅单晶粒(硅量子点),并进一......
随着半导体器件特征栅长的减小、隧穿氧化层厚度进入到纳米尺寸,传统的非挥发浮栅存储器(FG-NVMs)面临严峻的挑战。横向漏电流及量......