纳米级微定位相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

纳米级微定位相关论文

新型二维压电驱动微动工作台的设计分析

研究开发了一种新型压电驱动二自由度纳米级微定位工作台。文章采用静力学理论对微动工作台的运动副进行了建模分析 ,推导出直角平......

期刊

压电驱动纳米级微定位柔性铰链有限元分析

大范围XY微位移平台的交叉耦合效应的研究

为了减小柔性平台中的阿贝(Abbe)误差和最小化余弦误差。文章介绍了一种通过增材制造(AM)工艺以及立体光刻技术制造,基于聚合物的......

期刊

交叉耦合效应纳米级微定位柔性机构增材制造轨迹误差

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