随着半导体工艺技术的发展，半导体器件的特征尺寸不断的减小，尤其是进入22nm及更小节点后，对光刻技术的要求更高。高质量的纳米级半导......

通过Ｎｄ：ＹＡＧ激光器四倍频２６６ｎｍ偏振脉冲激光的扫描曝光，在聚酰亚胺表面制得了大面积的精度为０．２μｍ的周期性纳米线条，实验结果表明：随着激光能量密度的......