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TS2100超声键合机换能系统俯仰振动实验研究
本文以TS2100超声键合机换能系统为主要研究对象,以阻抗分析仪和激光多普勒测速仪为测量仪器,针对换能系统劈刀和肋环夹持等因素的影......
学位
超声键合换能系统
导纳特性
肋环夹持
俯仰振动
键合压力
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