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腐蚀硅杯相关论文

TMAH腐蚀液腐蚀硅杯的研究与分析

TMAH是一种新型的性能优异的各向异性腐蚀液,本文给出了TMAH腐蚀硅杯的原理通过实验研究了硅片被TMAH溶液腐蚀后的粗糙度以及腐蚀......

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腐蚀液削角现象凸角结构实验研究溶液腐蚀各向异性腐蚀速率腐蚀过程腐蚀硅杯粗糙度原理性能硅片

用电化学方法腐蚀Ｃ型硅杯

该文重点介绍了用电化学方法进行各向同性腐蚀硅杯的基本原理、关键工艺及工艺研究结果。该技术将有希望替代目前的机械掏杯工艺，实......

会议

电化学方法腐蚀硅杯关键工艺传感器芯片批量生产工艺研究各向同性小型化原理技术机械

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