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TMAH是一种新型的性能优异的各向异性腐蚀液,本文给出了TMAH腐蚀硅杯的原理通过实验研究了硅片被TMAH溶液腐蚀后的粗糙度以及腐蚀速率,并讨论了在腐蚀过程中由凸角结构产生的削角现象.
TMAH腐蚀液腐蚀硅杯的研究与分析
【摘 要】
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TMAH是一种新型的性能优异的各向异性腐蚀液,本文给出了TMAH腐蚀硅杯的原理通过实验研究了硅片被TMAH溶液腐蚀后的粗糙度以及腐蚀速率,并讨论了在腐蚀过程中由凸角结构产生的
【机 构】
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河北工业大学,半导体材料研究所,天津,300130
【出 处】
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
【发表日期】
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2005年期
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