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双极电路欧姆接触问题的工艺分析与解决方案
为解决一种双极集成电路在生产中欧姆接触电阻过大的问题,针对关键工艺进行了统计分析和专项实验,找到了问题的原因和解决方法,对提高......
期刊
双极集成电路
欧姆接触
薄氧化物
湿法腐蚀
工艺控制
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