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薄膜热电器件相关论文
基于N型热电材料Bi2Te2.7Se0.3的薄膜热电器件的制备与性能探究
热电技术,是一种可以实现热能与电能之间彼此转换的绿色环保能源技术。随着半导体技术的发展,许多狭窄空间和复杂器件结构中的局域......
学位
碲化铋
磁控溅射
薄膜热电器件
化学机械抛光
粗糙度
热蒸镀法制备热电薄膜与器件
热电器件能够实现热能和电能的直接转换,可用于温差发电、制冷和温度传感。在许多分散的、小功率热电转换场合,小型或微型热电器件......
学位
热电薄膜
热蒸镀
微尺度
薄膜热电器件
镂空掩模板工艺
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