变形镜相关论文
物镜系统是光刻机的重要组成部分,物镜像差是影响集成电路线宽的重要因素。改造光学元件引入主动变形是一种补偿像差的手段,其中采......
自适应光学系统是校正大口径望远镜成像误差的关键技术,为获取高分辨率、高信噪比图像,改善变形镜镜面热畸变是提高自适应光学系统......
分析了Yb:YAG板条激光器波前畸变的基本特征，结合光斑形态和功率密度，提出了采用水冷式13单元一维变形镜和95单元二维变形镜相结合的......
贝塞尔光束于1987年提出,由于其具有无衍射和自恢复特性而成为研究热点,目前已应用于激光加工、光镊、光通信等领域。其中贝塞尔光......
合成孔径雷达（SAR）在民用与军事领域中均有广泛的应用,在SAR成像领域已有许多高效的数字成像算法。近年来,SAR光学成像技术也取得了......
变形镜是自适应光学(AO)系统的核心单元之一,本文提出了一种基于磁阻最小原理的新型音圈驱动器结构,在传统音圈结构设计上引入软磁......
自适应光学是目前解决大气湍流干扰、恢复地基望远镜光学衍射极限分辨率成像的不可或缺的技术。但是系统中的核心——变形镜波前校......
随着时代与科技的进步,目前的飞行器需要更高的速度。飞行器在飞行时,传统整流罩的半球形结构所受到的空气阻力很强,难以满足高速......
学位
为了获得高质量无色差的多波长相干艾里光束,提出了一种基于变形镜的多波长艾里光束生成方法,并通过仿真与实验研究了多波长艾里光......
自适应光学系统有效通光口径的变化会引起部分哈特曼传感器子孔径缺光以及部分变形镜驱动器失效, 造成系统子孔径排布和驱动器排布......
固体激光器在实际工作过程中会因腔镜热变形而产生球差效应, 使激光的光强分布发生变化、聚焦能力下降、光束质量变差, 因此需要校......
提出一种自适应光学(AO)系统单波前传感器多变形镜(DM)闭环控制方法,用单波前传感器测量畸变波前,通过像差解耦控制算法对畸变波前......
为了提高基于普适模型的无波前探测自适应光学（AO）算法的收敛性能，建立了一套基于Zernike模式的127单元变形镜AO系统仿真模型。以峰值......
对基于变形镜(DM)生成的Airy光束进行了光束特性研究。采用Zernike多项式对立方相位进行分解,建立了由多个Zernike多项式线性组合......
为分析热-机械耦合作用下黏结材料对变形镜应力特性的影响,利用有限元方法建立了含黏结材料的变形镜模型。采用顺序耦合分析方法分......
随机并行梯度下降算法(SPGD)是近年来广泛发展的一种无模型优化控制算法,它具有速度快、无需信标光等优点, 得以运用于自适应光学......
设计了一种基于氮化铝(AlN)材料的压电连续面型变形镜，采用理论分析和COMSOL仿真对该AlN MEMS变形镜的结构进行了优化，拟合了前14项Z......
为获得清晰的高分辨率人眼眼底视网膜图像,自适应光学系统中变形镜必须能够实时跟踪并补偿人眼中随时间变化的像差信息。对波前像......
变形镜作为自适应光学系统的核心器件，波前拟合能力是其主要性能参数。设计了三角形、正方形、环形3种驱动器排布方案，采用Ansys建模......
设计一有效口径为120 mm的连续镜面、分立促动器的变形反射镜并进行了检测实验。以产生离焦、像散和彗差为目标，对变形镜的各项参数......
离轴三反消像散（TMA）光学系统由于可以同时实现长焦距和大视场，被认为是新一代空间光学系统、尤其是紧凑型系统的首选。为提高系统性......
基于微机电系统(MEMS)技术微加工工艺，提出了一种新型分立倾斜式变形镜(DM)设计，并加工制作了3×4变形镜阵列。该结构每个镜面单元对......
采用光学空间滤波方法,对基于变形镜生成的贝塞尔光束的质量进行改善。设计了一种环形滤波器,在贝塞尔光束的空间谱平面上滤除由变......
基于高速飞行器流场光传输数据和变形镜系统, 提出了一种气动光学效应半实物仿真方法。根据流体力学、统计、几何和物理光学等理论......
报道了采用简化的物理模型及数值仿真方法对变形镜非线性响应如何影响自适应光学系统的波前校正剩余位相方差所进行的分析。给出了......
A new adaptive beam intensity shaping technique based on the combination of a 19-element piezo-electricity deformable mi......
为校正大口径量子通信望远镜的静态像差,提高接收信号光的能量集中度,提出了基于随机并行梯度下降（SPGD）算法的静态像差校正方法。该......
利用置于神光Ⅲ原型(TIL)装置靶室波前测量系统,获得8束激光全光路静态像差,将测量结果分别过渡到各路主放参数诊断包内的波前传感......
介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术,实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。......
围绕未来固态大功率激光系统中低阶像差补偿的需求,开展了边缘驱动变形反射镜的优化设计和仿真分析。提出了4臂边缘驱动变形镜设计......
由于相位补偿不稳定性的存在,大气热晕效应的相位校正一直是研究人员十分关心的问题。对变形镜驱动器影响函数耦合矩阵进行正交化......
在考虑中红外高反膜系的非均匀吸收情况下,利用ANSYS有限元分析软件,建立了带高反膜系的变形镜模型。定量分析了连续激光辐照下,变......
在几何光学近似下,研究了非稳腔中的离焦像差的演化,解析地给出了正支共焦非稳腔中离焦像差的线性修正公式。结合氧碘化学激光器的......
变形镜在长期工作的过程中,压电陶瓷驱动器因累积疲劳效应会导致其失效,从而导致校正性能的降低.从变形镜的影响函数出发,将失效驱......
变形镜作为一种波前校正器,是自适应光学系统的核心部件。本文设计的变形镜是以空间应用为背景,并结合变形镜自身性能进行研究。通......
随着超连续谱激光输出功率及光谱范围的不断提升,超连续谱激光在光通信、遥感、主动照明、工业检测等多个领域发挥着越来越重要的......
建立了一台基于37单元变形镜、Shack-hartman波前像差传感器和12位科研级CCD相机的自适应光学视网膜相机.采用一个中心波长为679nm......
基于三层多晶硅表面加工工艺和自适应光学经验公式,设计并制作了一种静电驱动的16单元连续面形微机电系统(MEMS)变形镜(DM),并用Zy......
为了满足天文望远镜自适应光学系统的需要,研制了一个961单元的变形镜及其控制系统。利用Zygo激光干涉仪对变形镜的性能进行测试,......
静电平行板驱动器是基于静电驱动的MEMS变形镜的关键部件,其静态及动态性能对MEMS变形镜有重要影响。设计并利用表面硅工艺加工制......
为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主......
影响大口径地基自适应光学望远镜成像的因素很多,为获得近衍射极限的高分辨力成像效果,需要对系统的关键参数进行优化。本文分析了......
SPGD算法是一种应用广泛的无波前探测自适应光学控制算法.传统SPGD算法中增益系 数保持某一固定值不变,随着变形镜单元数的增加,这......
传统的半球形窗口难以满足高速飞行器气动力学的需求, 采用流线型外表面的非球面光学窗口技术应运而生. 这种窗口会随着扫描视场角......
期刊
模糊控制由于不依赖变形镜的响应模型,用于波前校正时具有实用性,其可行性已被证实。对自适应光学系统中模糊比例积分微分(PID)控......
