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表面钝化工艺相关论文

聚酰亚胺表面钝化工艺及对半导体器件可靠性和稳定性的影响

聚酰亚胺是一种新型耐高温钝化材料,涂敷在硅表面上形成的薄膜带有负电荷,可以削弱硅表面电势,此外聚酰亚胺还具有物理和化学性能......

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聚酰亚胺表面钝化工艺器件可靠性化学性能稳定表面电势硅表面稳定性电绝缘性批量生产台面

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