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衬底反射相关论文

用于注入层用途的湿法显影有机抗反射涂层

底部抗反射涂层(BARCs)和光刻胶已被广泛地用于半导体制造中的光刻加工工艺中.BARCs在光刻中的主要好处就是聚焦/曝光宽容度的改善......

期刊

光学光刻抗反射涂层关键尺寸控制衬底反射注入底部抗反射涂层湿法显影 Optical lithography Anti-reflective coati

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