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类金刚石（DLC）薄膜是近年来备受关注的一类薄膜材料。由于其诱人的性能,它们被认为是电子、光学和防磨损应用的重要材料。化学惰性、......
公开号 ＣＮ１２０４６９８Ａ 申请人 国际商业机器公司 地址 美国纽约州 公开了气相淀积的ＢＡＲＣ和制备基于非晶碳薄膜的可调且可去除的抗反射涂......
在用于半导体制造的化学品中,最贵的是光刻胶、抗反射涂层(ARC)和聚酰亚胺(polyimide)等.精确地预测这些特殊的光化学物质的使用量......
对于太阳能电池研究来说．能提高一个百分点的光转换效率都是十分重要的．而目前太阳能电池板的抗反射性能多会因其表面附着的一些脏污......
底部抗反射涂层(BARCs)和光刻胶已被广泛地用于半导体制造中的光刻加工工艺中.BARCs在光刻中的主要好处就是聚焦/曝光宽容度的改善......
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20 0 10 80 1 脉冲激光沉积ＳｉＣ薄膜———ＰｅｌｔＪＳ .ＴｈｉｎＳｏｌｉｄＦｉｌｍｓ,2 0 0 0 ,371(1～ 2 ) :72 (英文 )脉冲激光沉积 (ＰＬＤ)是一种可靠、经济的制备高温超导氧化物......
